高速マイクロスピンドルを用いたマイクロ旋削加工における切削特性

抄録

高速マイクロスピンドル（Max.200,000rpm）を搭載したマイクロ旋盤を用いてマイクロ部品の旋削加工を行い、主軸回転速度、送り速度、切込み深さの3条件に対する表面粗さなどの切削特性について検討した。表面粗さは、高主軸回転速度、低送り速度、微小切込み深さの条件で良好な値（最高Ra17nm）が得られ、切削断面積に依存する傾向があることがわかった。