空間光位相変調技術を利用した回折限界以下の微細ピッチ孔穴同時レーザ加工

抄録

空間光位相変調を用いると様々な光強度パターン整形が可能となり，例えば多数孔同時加工などが実現できる．この時，区別できる同時加工可能な孔間ピッチは光学系の収差を含めた回折限界程度である．これは結像面では回折による電場のオーバーラップが生じるためである．そこで，隣り合う集光点の電場が強度は同じで逆位相となる拘束条件で変調制御を試みた．ここでは，これを実現する計算手法と加工試験結果を報告する．