振動環境下での波長走査を用いた電子基板の３次元形状計測法

抄録

振動環境で使えるカメラを用いた垂直方向からの電子基板の３次元形状測定法を開発している．電子基板の３次元形状検査のニーズは振動環境にあり，振動を抑える工夫をしても光路差が波長の数倍程度変動するとした．その環境でスペックル干渉像を複数取込み，干渉像間の位相シフト量を抽出し，使用波長でのスペックル位相分布を計測する．波長を変えた時の位相分布の変化量から光路差を計算し３次元形状をサブミリ精度で計測する．