2ステップフーリエ変換法による干渉縞解析 キャリア周波数の異なる2つの干渉縞を同時に得るための干渉計

神谷 和秀; 反保 亜美; 松本 公久; 野村 俊; 田代 発造; 鈴木 伸哉

doi:10.11522/pscjspe.2014S.0_115

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: B08

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014S.0_115

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主催: 公益社団法人精密工学会

2ステップフーリエ変換法による干渉縞解析

キャリア周波数の異なる2つの干渉縞を同時に得るための干渉計

*神谷和秀, 反保亜美, 松本公久, 野村俊, 田代発造, 鈴木伸哉

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キーワード: 2ステップフーリエ変換法, 干渉縞解析, 形状計測, 位相シフト法

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抄録

わずかに異なるキャリア周波数を持つ２枚の縞パターンを用いて，位相解析を行う方法として，２ステップフーリエ変換法がある．これまで，動的な解析にこの方法を応用するため，カラーの格子を用いた格子投影法について報告してきた．本報告では，動的な干渉計測に応用するため，キャリア周波数の異なる干渉縞を同時に得ることのできる干渉計を考案したので，その検討結果について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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