亜鉛めっきによるピーリング工具の作製

コアの細線化と微細放電穴加工

抄録

微細電極の周囲を融点が低く，除去加工が容易な材料で被覆した「ピーリング工具」を提案し，被覆方法として，亜鉛メッキを試みている．メッキ中のpH変動の抑制と超音波振動の付与が，コアの位置精度（偏心量）と表面粗さの低減に有効であることがわかっている．本研究では，pH緩衝剤に酢酸を用いφ50μm電極に対するピーリング工具の作製，単発放電による被覆部の除去，微細放電穴加工を行った．さらにφ30μm電極にも挑戦した．