光学シミュレーションのための超精密加工面の中空間周波数形状表現

抄録

光学レンズや中性子ミラーの製造工程の最適化のためには，超精密加工面における光学素子表面形状の中空間周波数誤差を用いた光学シミュレーションが必要となる．形状自由度が高く高精度かつ高速な光線追跡計算が可能な形状表現形式である長田パッチを用いて中間周波数形状を表現する手法を新たに提案し，三次元形状計測データからシミュレーションモデルを作製する条件について述べる．