白色干渉法を用いた高精度非接触距離計測システムの開発

林 恭平; 青戸 智浩

doi:10.11522/pscjspe.2014S.0_123

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: B34

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014S.0_123

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主催: 公益社団法人精密工学会

白色干渉法を用いた高精度非接触距離計測システムの開発

*林恭平, 青戸智浩

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キーワード: 光応用技術, 非接触計測, 白色干渉法, 距離計測, 精密計測

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抄録

（株）東京精密　計測社では、典型的な参照光路長走査方式の白色干渉法を用いて，測定距離600mmに対し，測定範囲が±30mmの非接触距離計測システムを開発した．本システムは，環境温度変化が15℃～30℃の変化に対しても，測定精度が±5μmという高い精度を実現した．陽子・重粒子線治療施設や高エネルギー加速器施設等での応用が期待される．

責任著者(Corresponding author)

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