3CCDカラーカメラを用いる振動下での干渉応用3次元形状計測

八巻 慎太郎; 安達 正明

doi:10.11522/pscjspe.2014S.0_121

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: B33

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014S.0_121

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主催: 公益社団法人精密工学会

3CCDカラーカメラを用いる振動下での干渉応用3次元形状計測

*八巻慎太郎, 安達正明

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キーワード: 白色干渉像, 位相抽出, 楕円率

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抄録

ここでの白色干渉計による形状計測では光路差に応じたRGB光強度比を事前に基準データとして取得し，それをもとに測定対象の表面形状を画素ごとに推定する．測定対象の白色干渉像を複数枚使うことにより，推定ミスを排して高精度に測定可能であるが干渉像間での位相変化量の検出が必要となる．本研究では干渉像間の位相変化量を楕円率を用いて抽出し、位相変化量を補正することでより正確な３次元形状計測を行っている．

責任著者(Corresponding author)

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