Shack-Hartmann波面センサのダイナミックレンジ拡大化検討

抄録

非球面形状評価を目的にShack-Hartmann(SH)波面センサのダイナミックレンジ拡大化を検討する。波面傾斜が大きくなるとマイクロレンズアレイ(MLA)と集光スポット像の対応付けが困難となる。本検討では、1)露光の異なるフレームの複数枚合成処理と、2)MLAと集光スポット像の対応付けアルゴリズム、を導入することで課題を克服した。適当な収差を発生させるレンズを作成して実測評価したところ、球面収差で7ラムダの計測が可能となった。