精密工学会学術講演会講演論文集
2014年度精密工学会春季大会
セッションID: B39
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臨界角での光強度を用いた微小角変位の測定
*田代 発造三原 毅柴田 幹松本 宗宏
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抄録
臨界角付近での透過光と反射光を使って微小角度の変化を測定するシステムに関して,より使い易く,適したものにした.その方法と実験結果を示す.ナノラジアンの測定を目指している.
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© 2014 公益社団法人 精密工学会
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