スクリーン印刷によるフレキシブル電流センサの開発

抄録

本研究では、カプトン薄膜が被覆されたパーマロイ基材にスクリーン印刷を用いて銀ペーストによるコイル構造を形成することで、柔軟性を備えた電流センサを作製した。まず、カプトン薄膜に貫通穴を形成し、スクリーン印刷により銀ペーストを充填させた後、基材両面にライン&スペース50μm/50μmの配線を形成し、480巻きのコイルとした。本センサを20Aのケーブルに設置したところ、22.6mVの出力電圧が得られた。