高容量密度薄膜キャパシタの作製と自己組織化単分子膜によるハンドリング手法の検討

抄録

携帯機器の小型化と高機能化を実現するためには，受動部品を基板に内蔵させることによる基本構成の検討が必要と思われる。耐熱性の基板上に形成した素材を，剥離・転写するナノトランスファー法の基礎的な検討を進めてきた。しかし，ハンドリング時の基材検討など本手法の特徴を生かした技術の確立が必要となっている。本報では，シリコン上に作製したPZTの薄膜をポリジメチルシロキサン(PDMS)に試料を転写させる手法を提案する。