Si単結晶の曲げおよび疲労挙動

抄録

Si単結晶は電子材料として従来使用されており、MEMS/NEMSで構造材料として使用されていくなかで、機械的性質や変形破壊挙動を明らかにする必要がある。そこで本研究では、Si単結晶の静的曲げ試験および曲げ疲労試験を行い、機械的性質を調べた。さらに、破壊直前および破壊後の透過型電子顕微鏡観察などを行い、表面の形状や内部の微構造の変化を詳細に調べた。