同心円回折格子干渉計を用いた軸受のラジアル　アキシャル　アンギュラーモーションの一括測定

第7報：軸受の不要な5自由度誤差運動測定

抄録

近年，超精密工学等において軸受の不要な５自由度誤差運動をサブナノメートル及びサブマイクロラジアンの精度で測定する技術が必要とされている．前報では、軸受に同心円状回折格子を取り付け、２方向（軸方向の１自由度並進方向と半径方向の１自由度並進方向）変位測定可能な高剛性小型光センサによって，軸受の２自由度誤差運動を測定した。本報では、１個の光センサを３ヶ所に置き、軸受の不要な５自由度誤差運動を測定する。