マルチプローブ型サーフェスエンコーダに関する研究 6自由度計測手法の開発

伊藤 武志; 李 星輝; 清水 裕樹; 伊東 聡; 高 偉

doi:10.11522/pscjspe.2014S.0_47

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: A37

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014S.0_47

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主催: 公益社団法人精密工学会

マルチプローブ型サーフェスエンコーダに関する研究

6自由度計測手法の開発

*伊藤武志, 李星輝, 清水裕樹, 伊東聡, 高偉

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キーワード: 多自由度計測, ステージ, サーフェスエンコーダ, マルチプローブ, 変位, 角度

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抄録

スケール格子と参照格子からの±1次回折光の干渉信号演算によりXYZ3軸一括変位検出を実現する，3軸サーフェスエンコーダが開発されてきた．また筆者らは，モザイク格子によるXY計測範囲拡大手法を提案し，それに対応したマルチプローブ型センサヘッドを開発してきた．本報では，マルチプローブ型センサヘッドと3軸変位計測を応用した6自由度計測手法を提案するとともに，その有効性を実験的に確認した結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

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