能動動圧軸受を組み込んだ高速・高精度エアースピンドルの開発

複列能動動圧軸受の採用について

抄録

直径数mm以下小径回転工具を用いた精密・超精密加工への需要増加に対応するために高速・高精度エアースピンドルの開発に取り組んでいる。基本構想は静圧軸受に振動抑制のための能動動圧軸受を組み合わせたハイブリッド構造の採用である。これまでの研究に引き続き本研究では、能動動圧ラジアル軸受をスピンドルの前後に配置した複列型を試作しそのスピンドル回転精度への効果を検証している。