格子不整合による薄膜の結晶成長の影響検討

抄録

BaTiO3の圧電性向上は(111)の優先配向が有効と報告されており，著者らはBaTiO3(111)の結晶性改善に関する研究を行っている．結晶成長制御のため，バッファ層を導入する．そこで，薄膜とバッファ層の格子不整合を考慮する必要がある．本研究は格子不整合の考慮において基材と薄膜を考慮した格子不整合プログラムを使用し，結晶成長を予測する．格子不整合プログラムの結果は薄膜の結晶成長における格子ひずみと関連性があることが示唆された．