薄膜の結晶成長予測のための計算手法の開発

足立 圭優; 槌谷 和義; 上辻 靖智

doi:10.11522/pscjspe.2014S.0_561

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: H04

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014S.0_561

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主催: 公益社団法人精密工学会

薄膜の結晶成長予測のための計算手法の開発

*足立圭優, 槌谷和義, 上辻靖智

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キーワード: 結晶成長, 原子接点数, 格子不整合率, エネルギ安定性

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抄録

薄膜の結晶成長の要因を把握するために，基板と薄膜の原子の接触である原子接点と格子不整合率及び結晶のエネルギ的安定性に着目し，これらによる結晶成長予測のための計算方法を考案した．しかし3因子の影響の有意性が不明瞭であるため，各計算結果と実験結果の比較，検討が必要である．計算結果と結晶のピーク強度を比較したところ，結晶成長における3因子の影響を確認し，これらの計算による結晶成長予測の有効性を確認した．

責任著者(Corresponding author)

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