極薄ガラスによるレーザパッケージング

熱影響及び耐水性の評価

抄録

二枚の極薄ガラスを重ねてCO₂レーザを照射したとき、レーザ照射部で切断と同時に溶着が起こる事を利用し、極薄ガラスのレーザパッケージング法を提案する。最初に、厚さ50μmの極薄ガラスの切断、溶着に適したレーザ照射条件を明らかにし、その後直径15mmの円形パッケージングを実施した。また、被パッケージング材へのレーザによる熱影響を評価し、さらに溶着部からの浸水が無い事を確認した。