表面プラズモン共鳴現象を利用した膜表面-試薬間の反応検出

抄録

SPRは金属膜裏面からの光照射時に表面に誘起されるエバネッセント波と表面プラズモン波の共鳴現象で両者の波数が一致すると発生し、この条件下の光の入射角度で反射光強度が減衰する。本SPRは金属膜と入射側の屈折率が一定では金属膜上の誘電率に依存する。金属膜上に薄膜を形成した時、膜厚変化や表面での析出を裏側より検出できる。本研究はSPR現象を利用して炭素系膜の化学試薬中での腐食や金属酸化物膜上への析出現象を検出した。