回転原料式シラン生成装置におけるシリコンエッチング特性とその最適化

抄録

太陽電池用シリコン材料の廉価創成を目指し、水素プラズマによるシラン生成技術を利用したリモート型水素プラズマ輸送法を提案している。本技術では、Siの原子状水素によるエッチング反応が著しい温度依存性を示すため、本研究では、その反応プロセスを簡便に最適化する事が可能なシラン生成装置の開発を行った。開発した装置を用いて、エッチング特性を最適化するための条件が明らかとなり、その達成も容易である事が分かった。