光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術に関する研究（第1報） マイクロ球による表面観察原理

高見 昂亮; 道畑 正岐; 林 照剛; 高谷 裕浩

doi:10.11522/pscjspe.2014S.0_63

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: A61

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014S.0_63

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主催: 公益社団法人精密工学会

光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術に関する研究（第1報）

マイクロ球による表面観察原理

*高見昂亮, 道畑正岐, 林照剛, 高谷裕浩

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キーワード: 光放射圧プローブ, マイクロ球, 超解像, 表面微細形状

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抄録

近年マイクロ加工により生じる表面性状を評価するため，高速性や高い分解能を持つ微細表面形状評価技術の必要性が指摘されている．本研究では表面微細形状評価手法として光放射圧プローブを提案する．光放射圧プローブではレーザを用いて対物レンズの焦点に捕捉したマイクロ球を試料に接近させ，マイクロ球を透過した光を結像させることで試料の観察像を取得できる．本報では，マイクロ球による表面観察原理について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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