スポット照明の重複シフトによる光学式超解像検査法（第３報）

スポット照明超解像のための基礎実験装置の構築

抄録

高解像度の光学式半導体欠陥検査技術の開発にあたって，我々はスポット照明を空間的にナノスケールで重複してシフトさせ，散乱光変調情報を含む複数画像を取得し，計算機による後処理を加えることで，レイリー限界を超える解像を行う方法を研究している．前報では提案手法の超解像特性を理論的に解析した．本報では提案手法の原理検証のための基礎実験装置を構築したので報告する。