低コヒーレンス光の二光束干渉を利用した光学顕微鏡の高分解能化

臼杵 深; 高田 智裕; 三浦 憲二郎

doi:10.11522/pscjspe.2014S.0_69

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: A64

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014S.0_69

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

低コヒーレンス光の二光束干渉を利用した光学顕微鏡の高分解能化

*臼杵深, 高田智裕, 三浦憲二郎

著者情報

キーワード: 低コヒーレンス光, 光学顕微鏡, 変調照明, スーパールミネッセントダイオード, 超解像

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

変調照明による高分解能顕微法は生体蛍光観察において実用化に至っているが，一般的にはレーザ干渉を利用するため，工業用途ではスペックルノイズが大きく，利点を最大限引き出すことは困難である．本研究では，低コヒーレンス光の二光束干渉により変調照明を生成し，工業用光学顕微鏡の空間分解能を向上させることを提案する．低コヒーレンス干渉により絶対的な光路差が求まるため，高度な照明制御が可能という利点も有する．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）