セリア研磨スラリーの分散・凝集状態制御による研磨能率向上効果のメカニズムの検証

抄録

筆者らはガラス系材料の研磨において，セリア砥粒研磨スラリーに対する添加剤による分散・凝集状態の制御と研磨パッド表面状態の制御を行うことで研磨能率の向上と砥粒使用量削減の可能性を確認している。本報は砥粒の分散・凝集状態と，砥粒のゼータ電位や研磨時の研磨抵抗（駆動モータ消費電力）の関係を調べ，研磨能率への影響のメカニズムについて検証したので，報告する。