不織布研磨パッドの組成が研磨特性に与える影響

抄録

不織布研磨パッドはポリエステル繊維のフェルトや羊毛、ポリウレタンのフェルトなどを絡ませてシート状にした研磨布であり、シリコンウエハやハードディスク基板、液晶ガラスなどの一次研磨や二次研磨などで使用されている。本研究では不織布研磨パッドの研磨特性向上を目的に、含浸させる樹脂や不織布が与える影響を調べて、研磨特性への影響の評価を行った。