同期型２自由度静電アクチュエータにおける位置依存性回避のための電極設計法

細畠 拓也; 山本 晃生; 樋口 俊郎

doi:10.11522/pscjspe.2014S.0_811

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: K01

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014S.0_811

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主催: 公益社団法人精密工学会

同期型２自由度静電アクチュエータにおける位置依存性回避のための電極設計法

*細畠拓也, 山本晃生, 樋口俊郎

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キーワード: アクチュエータ, 静電アクチュエータ, 平面モータ

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抄録

市松模様状に分割された領域にX・Y方向に駆動するための帯状三相電極が形成された固定子を有する同期型の静電フィルムアクチュエータについて研究を進めている．同アクチュエータにおいては，固定子の電極配置が不連続的であるため，推力の位置依存性を回避するためには移動子電極の設計に工夫が必要である．本稿では，推力が移動子位置に非依存となるための電極配置の条件について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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