パターン化銀微粒子を用いた金属アシスト化学エッチングによるシリコン微細構造作製とその応用

抄録

金属アシスト化学エッチングは貴金属を触媒とする異方性エッチングであり，貴金属と接触するシリコン界面のみが選択的にエッチングされることで高アスペクト比等の特徴的な加工が行える．本研究では銀ナノ微粒子を基板上に密に配置してエッチングすることでシリコンのナノピラー構造を製作することを試み，アスペクト比などの構造寸法特性を明らかにするとともに濡れ性の評価を行い，撥水表面への応用可能性を示した．