パターニングした基板を用いた焼鈍法による金属ナノドットアレイの作製法

抄録

光学機能表面としての応用が期待される金ナノドットアレイを効率的に製造する方法を検討する。本方法は焼鈍法による自己組織化法に基づくが、焼鈍による凝集で金ナノドットが規則的に配列するよう基板に予め微細格子溝を加工しておくことを特徴としている。本報告ではコーティング膜厚、焼鈍条件などが金ドットの凝集状況に及ぼす影響を検討する。