トランスファープリンティングによる両もちはり型マイクロアクチュエータの作製

抄録

トランスファープリンティングにより両もちはりを作製し，アクチュエータへ応用することを試みている．シリコーン樹脂製スタンプに成膜した金属薄膜を，微細溝を設けた基板に接触させた．その結果，長さ50μm，厚さ100nm以下の両もちはりの作製に成功した．また，薄膜の濡れ性が高いほど同構造の形成箇所が増し， Ni，Al，Feの順で作製率が向上することがわかった．さらに，両もちはりを静電力によって駆動させることに成功した．