アナログ電気回路を用いたブロードバンド干渉縞の自動処理

抄録

最近、光周波数コムなどのブロードバンド光源を用いた干渉計によって、空間位置の測定や長さの測定を行うことが多くなっている。このような干渉縞を高速で実時間で測定することために、アナログ電気処理回路を製作し、その測定速度や位置測定の精度を実験的に検討した。その結果、位置の測定は0.1μmを超えることが期待でき、実時間測定にも有効であることが分かった。