精密工学会学術講演会講演論文集
2014年度精密工学会春季大会
セッションID: A84
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周波数計測によるファブリー・ペロー共振器絶対光学長測定
第10報:FSR測定と共鳴点追尾の同時達成法の考察
*伊藤 辰巳山岸 敬登酒井 康裕韋 冬明田川 正人
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抄録
絶対光学長・幾何学長測定は,光速度の半分をファブリー・ペロー共振器のミラー間の距離で除した値である再隣接共鳴点周波数差(Free Spectrum Range:以下FSR)の測定により達成できる.また,共振器の共鳴点を追尾すれば共鳴点周波数変化からも絶対光学長を測定することができる.この2方法を相補的に利用すれば,絶対光学長測定の不確かさをより低減できると考えられる.またこの手法を用いた変位測定のシステムを提案する.
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© 2014 公益社団法人 精密工学会
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