PCDブレードによる超精密ダイシング技術の開発（第３報）

ダイヤモンド焼結体を砥石とするための切れ刃付け加工の検討

抄録

PCD(多結晶焼結ダイヤモンド)による次世代ダイシング技術を開発した。前報では、PCDの外周端に単純な切れ刃を形成し、延性モード加工ができることを示した。本報では、引き続き、無垢な焼結体を砥石として使用すべく、外周端の切れ刃付け加工として、等間隔に微小な掬い面と逃げ面を形成し、切削性を向上させた状態でメタル膜付きのSiCウェーハを高精度にダイシング加工したので報告する。