金属楕円ミラーの超精密シェーパ加工における中間周波数帯形状誤差

細畠 拓也; 森田 晋也; 郭 江; 武田 晋; 加藤 純一; 山形 豊; 河合 利秀; 日野 正裕; 小田 達郎; 山田 悟史; 古坂 道弘

doi:10.11522/pscjspe.2015A.0_219

2015年度精密工学会秋季大会

セッションID: D06

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015A.0_219

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

金属楕円ミラーの超精密シェーパ加工における中間周波数帯形状誤差

*細畠拓也, 森田晋也, 郭江, 武田晋, 加藤純一, 山形豊, 河合利秀, 日野正裕, 小田達郎, 山田悟史, 古坂道弘

著者情報

*細畠拓也
理化学研　光量子工学研究領域
森田晋也
東京電機大　工学部機械工学科
郭江
理化学研　光量子工学研究領域
武田晋
北海道大　大学院　工学院　量子理工学専攻
加藤純一
理化学研　光量子工学研究領域
山形豊
理化学研　光量子工学研究領域
河合利秀
日本中性子光学
日野正裕
KURRI　粒子線基礎物性研究部門
小田達郎
KURRI　粒子線基礎物性研究部門
山田悟史
KEK　物質構造科学研究所　中性子科学研究施設
古坂道弘
北海道大　大学院　工学院　量子理工学専攻

キーワード: 超精密加工, シェーパ加工, 楕円ミラー

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抄録

我々の研究グループでは中性子集光ミラーの開発を進めており，その基板としてニッケルリンめっきを施したアルミ合金を用いている．この基板表面をダイヤモンド工具を用いたシェーパ加工により楕円面に加工する際，加工機のスケール補間誤差によって周期数mm，振幅数100 nm(P-V)以下の等高線状の形状誤差を生じることが分かった．本稿では、実際に加工したミラーの形状測定結果からこの現象の発生メカニズムについて考察する．

責任著者(Corresponding author)

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