研削加工面中間周波数微小うねりによる光学機能発現シミュレーション技術

抄録

カメラレンズ用非球面レンズの加工プロセスにおいて，10nm程度の微小な中間周波数のうねりによって不均一像が形成されるなどの光学機能の発現が問題となる場合がある．本研究では，中間周波数のうねりを考慮した光線追跡シミュレーション技術によって形状うねりによる光学機能発現メカニズムについて議論を行う．