MCFホイールを用いた石英ガラスの超平滑研磨

藤本 正和; 呉 勇波; 野村 光由; 島田 邦雄

doi:10.11522/pscjspe.2015A.0_385

2015年度精密工学会秋季大会

セッションID: F68

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015A.0_385

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主催: 公益社団法人精密工学会

MCFホイールを用いた石英ガラスの超平滑研磨

*藤本正和, 呉勇波, 野村光由, 島田邦雄

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キーワード: MCFホイール, 超平滑研磨, 石英ガラス

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抄録

本研究は，MCFスラリーを円板状永久磁石の外周面に付着させることによって構成した新しい工具「MCFホイール」を提案し，石英ガラスの超平滑研磨を試みるものである．具体的には，研磨過程中に失われるMCFスラリー構成成分の補充によるホイールの長寿命化に基づき，高精度・高能率な平滑研磨を実現したので報告する．

責任著者(Corresponding author)

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