酸化セリウム砥石を用いた光学ガラスの精密仕上げ

ガラス仕上げ量のサブミクロンオーダ測定

抄録

本研究では，化学的作用を持つ酸化セリウム砥石を用いた超仕上げによる光学ガラスの精密仕上げを目標としている．そのためには，前工程で生じた表面下損傷を除去する必要があった．しかし，その存在範囲については十分に明らかとなっていない．そこで本報では，表面下損傷の分布を調べるために考案した，超仕上げにおけるガラス仕上げ量をサブミクロンオーダで測定する方法について報告する．