制御されたセリア研磨スラリーの分散・凝集状態の定量評価と砥粒挙動の観察

抄録

ガラス系材料の研磨用セリア砥粒スラリーの分散・凝集状態を制御し、研磨加工能率の向上を図る研究に置いて、分散・凝集状態の定量測定と評価方法の検討とともに、スラリー中の砥粒の挙動を観察する試みを行ったので、その進捗を報告する。