イオンビーム照射により形成された単結晶ダイヤモンド変質層の偏光顕微ラマン散乱評価

抄録

集束イオンビーム加工を応用した精密切削加工用工具の開発について検討している．これまでの結果において，集束イオンビーム加工することにより単結晶ダイヤモンドに変質層が形成されること，熱処理により照射部の変質層を選択的にエッチングされることを示し，工具の向上を進めている．本報では，偏光顕微ラマン分光法を用いて，加工変質層の微視的構造評価，および熱処理や紫外線照射による構造変化について検討する．