集束イオンビーム加工とレーザ加工を併用した単結晶ダイヤモンドのマイクロファブリケーション

川堰 宣隆; 山口 誠; 神津 知己; 森田 昇; 西村 一仁

doi:10.11522/pscjspe.2015A.0_551

2015年度精密工学会秋季大会

セッションID: I66

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015A.0_551

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主催: 公益社団法人精密工学会

集束イオンビーム加工とレーザ加工を併用した単結晶ダイヤモンドのマイクロファブリケーション

*川堰宣隆, 山口誠, 神津知己, 森田昇, 西村一仁

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キーワード: 単結晶ダイヤモンド, 集束イオンビーム, DUVレーザ, マイクロファブリケーション, テクスチャ

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抄録

本研究では集束イオンビーム（FIB）照射とレーザ加工を利用した，単結晶ダイヤモンドの微細加工について検討している．FIB照射した単結晶ダイヤモンドの結晶構造の変化について，レーザラマン分光分析よる評価を試みた．その過程で，FIB照射した単結晶ダイヤモンドに微弱なDUVレーザを照射すると，FIB照射部が選択的に加工されることを見出した．本報では，この現象の各種条件依存性について検討し，単結晶ダイヤモンドの微細加工へと応用できることを明らかにした．

責任著者(Corresponding author)

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