ピコ秒レーザによる単結晶ダイヤモンドの精密加工

簡単な表面テクスチャの創成

抄録

本研究は，ピコ秒パルスレーザによる単結晶ダイヤモンドの精密加工の実現とその応用の開発を目的としている．前報では，単溝創成に対するレーザ照射条件の影響を調べ，繰り返し走査により幅10ミクロンで最大深さ16ミクロンの単溝創成が可能なことを明らかにした．本報では，そこに横方向の送りを複数回組み合わせ，凹パターンを基本とする表面テクスチャの創成を試みた．その結果，記載した方法により，テクスチャ創成が可能なことが確認された．