ステージロール運動誤差計測用高分解能クリノメータに関する研究

片岡 智史; 石川 龍弥; 陳 遠流; 清水 裕樹; 伊東 聡; 高 偉

doi:10.11522/pscjspe.2015A.0_855

2015年度精密工学会秋季大会

セッションID: O16

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015A.0_855

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主催: 公益社団法人精密工学会

ステージロール運動誤差計測用高分解能クリノメータに関する研究

*片岡智史, 石川龍弥, 陳遠流, 清水裕樹, 伊東聡, 高偉

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キーワード: クリノメータ, 位置決め, 姿勢角誤差

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抄録

精密リニアステージのRolling姿勢角を計測するための高分解能クリノメータを開発した．高分解能ロータリエンコーダを搭載した精密エアスピンドル用いてクリノメータの感度と線形誤差を定量的に評価した．また，開発したクリノメータをリニアステージに搭載し，Rolling姿勢角計測を行い，その有効性について実験的に検証した．

責任著者(Corresponding author)

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