平面ステージ精密制御用多自由度光センサに関する研究

古田 雅也; 李 星輝; 蔡 引てい; 清水 裕樹; 伊東 聡; 高 偉

doi:10.11522/pscjspe.2015A.0_857

2015年度精密工学会秋季大会

セッションID: O17

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015A.0_857

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主催: 公益社団法人精密工学会

平面ステージ精密制御用多自由度光センサに関する研究

*古田雅也, 李星輝, 蔡引てい, 清水裕樹, 伊東聡, 高偉

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キーワード: 光センサ, 平面ステージ, 多自由度計測, 平面格子

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抄録

平面ステージは超精密加工機・測定機に用いられる位置決め装置である．nm級の高い位置決め精度を実現するためには，多自由度で高精度に計測を行うセンサシステムを構築し，フルクローズドループ制御を行う必要がある．本報では，平面ステージ精密制御用多自由度光センサについて，センサヘッド光学系の最適化を図るとともに，試作したセンサのクロストーク特性を実験的に評価した結果について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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