聴覚用MEMS音響共振子の構造化の検討

抄録

微小電気機械素子(MEMS)は、センサやアクチュエータの小型・高性能化に効果を発揮している。本研究では、Siの微細加工技術を用いて人の聴覚器官の聴毛をモデルとした、聴覚用MEMS音響振動子の構造化と評価を行なった。薄板はり振動子と固定ブロックを複合化すると共振振動数ずれが生じた。固定ブロックも設計要素であることがわかった。また、薄板はりの構造を工夫して複数の共振振動数を持つセンサができることが確認できた。