１ピコメートルの高さ分解能を持つ表面形状計測システム（キーノートスピーチ）

抄録

白色干渉光学計において、対象物表面の垂直走査軸上の点から生成される可観測信号としてのインターフェログラムを用いて、１ピコメートルの高さ分解能を持つ表面形状計測システムを開発、上市した。本システムの実現のために、デジタルスタイラス法及び接近関数法と名付けた二つのアルゴリズムを考案した。ここでは、アルゴリズムの詳細と、８nm級標準段差サンプル及びグラフェン基板上の0.2nm級の段差測定例を紹介する。