自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究

抄録

従来の散乱光を用いた手法では，シリコン基板上の直径20nm以下のサイズの異物を検出する事は困難であった．そこで光の位相情報を用いて微小な異物を検出する新しい手法を提案する．微小粒子が付着する平面上の液体の蒸発過程において粒子を中心とした液相の薄膜が生じる現象を用い，自動的に粒子位置を探索し，位相情報を得るためのプローブとして利用する．今回は提案手法の実現可能性を実証する実験を行った．