分光ストークス・フルフィールドイメージングとその欠陥検査への応用（第2報）

長谷川 潤; 篠 敬悦; 大谷 幸利

doi:10.11522/pscjspe.2015S.0_21

2015年度精密工学会春季大会

セッションID: A46

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015S.0_21

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主催: 公益社団法人精密工学会

分光ストークス・フルフィールドイメージングとその欠陥検査への応用（第2報）

*長谷川潤, 篠敬悦, 大谷幸利

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キーワード: 偏光, ストークス・パラメータ, イメージング

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抄録

本研究は6軸ロボットを用いた分光ストークス・フルフィールドイメージングについて報告する.偏光をサンプル表面に入射させ,反射,散乱した光の偏光状態をロボットアームの先に取付けたイメージングストークス偏光計を用いて任意の角度から測定しイメージングする.イメージングストークス偏光計は位相子,検光子,レンズ,CCDカメラから構成される.これを用いて，イメージング画像から構造の違いや傷の検出など,物体表面の評価を可能とした.

責任著者(Corresponding author)

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