高抵抗電極を用いた放電加工の微細化に関する研究

小谷野 智広; 菅田 裕貴; 細川 晃; 古本 達明

doi:10.11522/pscjspe.2015S.0_53

2015年度精密工学会春季大会

セッションID: B09

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015S.0_53

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主催: 公益社団法人精密工学会

高抵抗電極を用いた放電加工の微細化に関する研究

小谷野智広, *菅田裕貴, 細川晃, 古本達明

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キーワード: 微細放電加工, 高抵抗材料, 放電痕

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抄録

微細放電加工において用いられるRC放電回路では，最小の放電エネルギは浮遊容量に蓄積されるエネルギによって決まる．従って，放電エネルギの微小化には浮遊容量の低減が必要となるが，装置の問題などによりこれには限界がある．そこで本研究では，電極に高抵抗材料である単結晶シリコンを用いることで，浮遊容量から流れる電流を低減し，放電エネルギの微小化を図った．

責任著者(Corresponding author)

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