第一原理計算による触媒表面基準エッチング法の加工メカニズムに対する解析

抄録

第一原理計算により、これまで未解明であった触媒表面基準エッチング法（CARE）の加工メカニズムの調査を行った。Ptとα-SiO2の界面で生じるSiO2の加水分解反応を解析した結果、Ptの存在下で，水分子の解離とターゲットSiの5配位化、Si-O結合の開裂とH+移動の各過程に要する活性化エネルギーが低下し、Ptの触媒作用による被加工物の加水分解反応の促進がCAREの加工メカニズムであると分かった。