パルス微細電解加工における極間距離の検出と制御に関する研究

抄録

微細電解加工においてパルス電圧の印加が加工精度を向上させることが一般的に知られている。加工の進行に伴い、工具先端から工作物までの距離である極間距離が変化する。極間距離が大きくなると加工速度や加工精度の低下を招き、小さくなると短絡や放電の危険性がある。そこで本研究ではパルス電圧を用いた微細電解加工中の加工電流から極間距離を検出し極間距離を一定に保つように制御する装置を製作し、加工実験を行った。